高真空离子溅射仪

高真空离子溅射仪

发布于 2025-05-23

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微电子科学与技术学院
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本单位近五年电力通用类项目招标32次,合作供应商25个,潜在供应商24
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申购单主题: 高真空离子溅射仪 申购单位: ****点击查看 报价类型: 国内含税价
使用币种: 人民币 公示时间: 2025-05-22 00:45:39
申购备注:
商品名称 品牌厂商 型号 数量 售后服务
高真空离子溅射仪 速普 S20 1 送货到安装地,协助安装和操作培训,后期使用过程中提供应用咨询服务。
规格:双靶,高真空,涡轮分子泵与无油隔膜泵组合,抽速 ≥隔膜泵 0.7 m3/h +分子泵 30.5 m3/h实现103 Pa量级的洁净真空。配备旋转偏转样品台,可均匀稳定地沉积导电膜,适用于样品的喷金、铂及叠层薄膜。触摸屏控制,即插即用。
工作气压:典型值 0.5-2 Pa
气体控制:恒流, MFC气体质量流量控制器(50 SCCM N2)
启动时间: < 3-5 Min
溅射计时 :0-600S
真空规 :高真空复合真空计【大气压到10-3 Pa 量级】
腔室尺寸: ~ Φ150 *120 mm
数显样品台: Φ75mm旋转样品台,旋转转速: 10-60RPM 连续可调
样品台高度调节:靶基距45-60 mm连续可调
溅射靶材: 靶材尺寸 Φ30 0.2-1 mm/2只,可单靶溅射、双靶交替溅射功能
溅射电源: 恒功率DC溅射电源 Max. 30W , Max. 100 mA, 0-800 V DC
进气口:Φ6 mm气管
操作方式: 触摸屏控制, 控制系统提供互锁保护功能
尺寸重量 :~250mm长 *360mm深 *400 mm高;主机~15 kg
电源 :24V DC, 200W Max
配件:Φ30 1 mm金靶+Φ30 1 mm铂靶各一片,裂片机。
项目情报
基本情况基本情况
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本单位近五年电力通用类项目共招标过 32 次; 共合作电力通用供应商 25
上次中标企业上次中标企业: 深圳****公司
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核心业务: 电气设备, 中标 8次, 占比 100.0%
重点地区: 广东, 中标 8次, 占比 100.0%
中标业绩: 上一年中标 7 次, 中标金额 0.36
潜在竞争对手潜在竞争对手: 共 24 个, 其中与甲方合作关系紧密的 0
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****灿一般
核心业务: 电气设备, 中标 3 次, 占比 75.0%
重点地区: 广东, 中标 4 次, 占比 100.0%
中标业绩: 上一年中标 0 次, 中标金额 0.0
广州****公司较弱
核心业务: 电气设备, 中标 24 次, 占比 100.0%
重点地区: 广东, 中标 24 次, 占比 100.0%
中标业绩: 上一年中标 0 次, 中标金额 0.0
****航较弱
核心业务: 电气设备, 中标 2 次, 占比 100.0%
重点地区: 广东, 中标 2 次, 占比 100.0%
中标业绩: 上一年中标 0 次, 中标金额 0.0
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