| 规格 | 1. 配置探针台一台,品牌:**矽****点击查看公司,型号:PXB-M-150 PROBE STATION,具体参数:载物台微调XY行程:150x150mm,Z轴行程:10mm,移动分辨率为1um;载物台采用多圈吸附环固定样品(可定制多孔),真空吸附,真空开关独立控制,四个真空开关;载物台尺寸:150mm,平整度: ±5μm, 粗调:360°无间隙旋转,微调±7°;显微镜在 X-Y平面2inch x 2inch,范围内移动分辨率1μm;显微镜未来可升级气动升降;增大型platen台面,可以同时容纳6个直流探针座或4个射频针座;Platen台面4点支撑。 2. 配置体式显微镜一台,品牌:迈之,型号:SZM7045,具体参数:目镜:20X,zoom:0.7X-4.5X,总放大倍数:14x-90x,Led光源系统;CCD品牌:图谱,型号:XCAM1080PX,像素:200w,索尼芯片,HDMI USB 接口,内置操作软件,配置21寸飞利浦显示屏一个。 3. 配置四个探针座和四个三轴探针杆,品牌:**市****点击查看公司,型号:JY025-13-R(2个),JY025-13-L(2个)。具体参数:探针杆均为镀金屏蔽铜管,直径4mm总长145mm,含1.5m进口三同轴线缆和三同轴公头。探针座XYZ轴行程都是13mm,圆珠滚子导轨,螺杆精度0.25mm/转,使用精度0.7微米,固定方式强力磁台底座,工作面积40mm*40mm;配置直流探针CB-P-20一盒,直流探针 ST-20-5一盒。 |