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| 电气系统控制柜 | 1.0/台(套) | **京百卓显(本地化售后服务) | HCDES-5S | (1)独立的电气系统控制柜,主要安装有专用HMI软件的工控机和负责具体执行及保护的PLC组成的上下位机控制系统。用户主要通过工控机上的HMI人机界面对设备进行状态监视及控制。工控机通过与PLC连接的以太网线进行操作及数据交换。 (2)西门子PLC通过DI/DO、AI/AO等方式与流量计、分子泵、电源等设备进行数据交换。对真空系统,工艺气体流量,电源系统等进行控制,具有多级报警,互锁保护,多种操作权限等功能。 1、主电源:10kW低压电源 2、启动高压电源:5kW600VDC电源 3、聚焦电源:200WDC电源 4、偏转电源:500WDC电源 5、坩埚聚焦电源:500WDC电源 6、电源控制单元 | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |
基本情况
上次中标企业: 北京****公司
潜在竞争对手: 共
60
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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