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历史招中标信息102748条
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发布时间：2026-09-29 13:45:04
| 真空等离子体设备研发材料 | 项目编号****点击查看 | |
| 2026-09-29 13:45:04 | 公告截止日期2026-10-08 12:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求合同签订后60天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区****点击查看 | ||
| 无 | ||
| 等离子体发生装置 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 一、技术要求 1、发生装置及连接件：采用真空低压中频、内外仿形电极批处理结构，316不锈钢或等效真空材料腔体；满足典型半球膜及电极装夹，工件最大包络建议不小于φ550 mm×350 mm；电极具备冷却、快换和膜面保护，重复定位误差≤±1 mm。 2、激发电源及真空系统：中频标称约40 kHz，输出10%～100%可调，具备软启动、自动匹配及异常放电保护；采用国产油泵并防返流，工艺压力建议20～300 Pa闭环可调，空载极限压力建议≤10 Pa。额定功率、泵抽速及气路量程以双方确认的详细设计和样件试验为准。 3、气路及安全：支持纯Ar和Ar+H模式，独立质量流量控制；设置氢气检测、强制排风、惰性吹扫及门位、真空、冷却、急停联锁。异常时关闭中频输出及工艺气体，保持安全抽排；尾气不得直接排入室内。 4、**产化及软件：整机、PLC、HMI、电源、真空与气路部件及电气元件均须采用国产品牌、国内制造的全新产品，提交品牌、型号、产地及国产化证明清单。PLC采用**Easy系列或同等**产产品，配套模块亦须国产；HMI不小于10英寸，中文界面，禁止无线通信。负责随机PLC控制软件、HMI本地界面及设备端接口，交付源程序、工程文件、电气图、点位表并配合联调。 |
| 商务要求 1、供货含设计、制造、运输、安装调试及培训。 2、包装须防震、防潮、防污染；乙方完成检漏、双气体放电及全部安全联锁测试，按确认样件开展活化验证，提交国产化证明、程序和验收资料。表面能、接触角及连续验收数量由双方确认，不得损伤膜材。 3、提供不少于2天的设备操作、安全与维护培训；质保建议自验收合格起2年，质量故障免费维修或更换（正常易损件及误操作损坏除外），现场服务原则上48小时内到达或按双方约定执行；保外服务按合同约定。 4、货期：合同签订后60个日历日内交货。 5、收货地点：**省**市需方指定地点。 6、付款方式：货到后一次性支付全部合同款项。 |
| 等离子体激发电源 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 一、技术要求 1、发生装置及连接件：采用真空低压中频、内外仿形电极批处理结构，316不锈钢或等效真空材料腔体；满足典型半球膜及电极装夹，工件最大包络建议不小于φ550 mm×350 mm；电极具备冷却、快换和膜面保护，重复定位误差≤±1 mm。 2、激发电源及真空系统：中频标称约40 kHz，输出10%～100%可调，具备软启动、自动匹配及异常放电保护；采用国产油泵并防返流，工艺压力建议20～300 Pa闭环可调，空载极限压力建议≤10 Pa。额定功率、泵抽速及气路量程以双方确认的详细设计和样件试验为准。 3、气路及安全：支持纯Ar和Ar+H模式，独立质量流量控制；设置氢气检测、强制排风、惰性吹扫及门位、真空、冷却、急停联锁。异常时关闭中频输出及工艺气体，保持安全抽排；尾气不得直接排入室内。 4、**产化及软件：整机、PLC、HMI、电源、真空与气路部件及电气元件均须采用国产品牌、国内制造的全新产品，提交品牌、型号、产地及国产化证明清单。PLC采用**Easy系列或同等**产产品，配套模块亦须国产；HMI不小于10英寸，中文界面，禁止无线通信。负责随机PLC控制软件、HMI本地界面及设备端接口，交付源程序、工程文件、电气图、点位表并配合联调。 |
| 商务要求 1、供货含设计、制造、运输、安装调试及培训。 2、包装须防震、防潮、防污染；乙方完成检漏、双气体放电及全部安全联锁测试，按确认样件开展活化验证，提交国产化证明、程序和验收资料。表面能、接触角及连续验收数量由双方确认，不得损伤膜材。 3、提供不少于2天的设备操作、安全与维护培训；质保建议自验收合格起2年，质量故障免费维修或更换（正常易损件及误操作损坏除外），现场服务原则上48小时内到达或按双方约定执行；保外服务按合同约定。 4、货期：合同签订后60个日历日内交货。 5、收货地点：**省**市需方指定地点。 6、付款方式：货到后一次性支付全部合同款项。 |
| 系统连接件 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 一、技术要求 1、发生装置及连接件：采用真空低压中频、内外仿形电极批处理结构，316不锈钢或等效真空材料腔体；满足典型半球膜及电极装夹，工件最大包络建议不小于φ550 mm×350 mm；电极具备冷却、快换和膜面保护，重复定位误差≤±1 mm。 2、激发电源及真空系统：中频标称约40 kHz，输出10%～100%可调，具备软启动、自动匹配及异常放电保护；采用国产油泵并防返流，工艺压力建议20～300 Pa闭环可调，空载极限压力建议≤10 Pa。额定功率、泵抽速及气路量程以双方确认的详细设计和样件试验为准。 3、气路及安全：支持纯Ar和Ar+H模式，独立质量流量控制；设置氢气检测、强制排风、惰性吹扫及门位、真空、冷却、急停联锁。异常时关闭中频输出及工艺气体，保持安全抽排；尾气不得直接排入室内。 4、**产化及软件：整机、PLC、HMI、电源、真空与气路部件及电气元件均须采用国产品牌、国内制造的全新产品，提交品牌、型号、产地及国产化证明清单。PLC采用**Easy系列或同等**产产品，配套模块亦须国产；HMI不小于10英寸，中文界面，禁止无线通信。负责随机PLC控制软件、HMI本地界面及设备端接口，交付源程序、工程文件、电气图、点位表并配合联调。 |
| 商务要求 1、供货含设计、制造、运输、安装调试及培训。 2、包装须防震、防潮、防污染；乙方完成检漏、双气体放电及全部安全联锁测试，按确认样件开展活化验证，提交国产化证明、程序和验收资料。表面能、接触角及连续验收数量由双方确认，不得损伤膜材。 3、提供不少于2天的设备操作、安全与维护培训；质保建议自验收合格起2年，质量故障免费维修或更换（正常易损件及误操作损坏除外），现场服务原则上48小时内到达或按双方约定执行；保外服务按合同约定。 4、货期：合同签订后60个日历日内交货。 5、收货地点：**省**市需方指定地点。 6、付款方式：货到后一次性支付全部合同款项。 |
| 可编程控制器 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 一、技术要求 1、发生装置及连接件：采用真空低压中频、内外仿形电极批处理结构，316不锈钢或等效真空材料腔体；满足典型半球膜及电极装夹，工件最大包络建议不小于φ550 mm×350 mm；电极具备冷却、快换和膜面保护，重复定位误差≤±1 mm。 2、激发电源及真空系统：中频标称约40 kHz，输出10%～100%可调，具备软启动、自动匹配及异常放电保护；采用国产油泵并防返流，工艺压力建议20～300 Pa闭环可调，空载极限压力建议≤10 Pa。额定功率、泵抽速及气路量程以双方确认的详细设计和样件试验为准。 3、气路及安全：支持纯Ar和Ar+H模式，独立质量流量控制；设置氢气检测、强制排风、惰性吹扫及门位、真空、冷却、急停联锁。异常时关闭中频输出及工艺气体，保持安全抽排；尾气不得直接排入室内。 4、**产化及软件：整机、PLC、HMI、电源、真空与气路部件及电气元件均须采用国产品牌、国内制造的全新产品，提交品牌、型号、产地及国产化证明清单。PLC采用**Easy系列或同等**产产品，配套模块亦须国产；HMI不小于10英寸，中文界面，禁止无线通信。负责随机PLC控制软件、HMI本地界面及设备端接口，交付源程序、工程文件、电气图、点位表并配合联调。 |
| 商务要求 1、供货含设计、制造、运输、安装调试及培训。 2、包装须防震、防潮、防污染；乙方完成检漏、双气体放电及全部安全联锁测试，按确认样件开展活化验证，提交国产化证明、程序和验收资料。表面能、接触角及连续验收数量由双方确认，不得损伤膜材。 3、提供不少于2天的设备操作、安全与维护培训；质保建议自验收合格起2年，质量故障免费维修或更换（正常易损件及误操作损坏除外），现场服务原则上48小时内到达或按双方约定执行；保外服务按合同约定。 4、货期：合同签订后60个日历日内交货。 5、收货地点：**省**市需方指定地点。 6、付款方式：货到后一次性支付全部合同款项。 |
基本情况
上次中标企业: 东瑞****公司
潜在竞争对手: 共
346
个, 其中与甲方合作关系紧密的
6 家
